上海萨帛机电控制系统有限公司

一、基础信息

法国 SAINT GOBAIN（圣戈班）PFD2 316F 属于 Furon 系列高压气动隔膜泵。该系列专为半导体、平板显示及高纯化学品输送行业开发，旨在解决严苛工艺中对高压力、高纯度及长寿命的极端需求。其型号中的 316F 代表了特定的接口通径与连接方式，是处理强腐蚀性电子级化学品的关键组件。

二、技术参数

• 流量范围：最大流量可达 12 L/min，支持在宽范围内精密调节。

• 最高压力：工作气压与输出压力最高可达 7 bar (100 psi)，具备极强的克服系统背压能力。

• 接液材质：泵体采用高纯度 PFA（过氟烷基化物），隔膜为高性能 PTFE。

• 连接规格：316F 型号通常配备 3/8 英寸的 Flaretek（扩口）接口，确保物理连接的零泄漏与高洁净度。

• 工作温度：流体介质温度支持范围通常为 0°C 至 100°C。

• 自吸能力：具备干吸功能，最大吸程约为 3 米水柱。

三、产品特点

• 高压稳定性：PFD2 采用了强化的泵体结构，能够在高压循环工况下保持稳定的流量输出，不会因背压升高而出现明显的效率跌落。

• 零金属污染：全氟塑料材质确保在输送超高纯度酸碱（如 HF、HCl、H2O2）时无任何金属离子析出风险。

• 双隔膜保护：特殊的隔膜褶皱设计极大延长了疲劳寿命，同时具备泄露排空口，防止隔膜破裂时腐蚀气路。

• 无死角设计：内部流道平滑，最大限度减少了药液滞留和细菌滋生的可能。

四、选型指南

• 压力需求匹配：若管路末端滤芯较多或需要高压喷淋，PFD2 的高压输出特性优于普通 A2 系列，是高背压工况的首选。

• 化学兼容性确认：尽管 PFA 耐受绝大多数强酸碱，但针对特殊溶剂（如某些剥离液），需核实 O 型圈及密封件的兼容性。

• 空间布局：316F 结构紧凑，选型时应考虑其维修空间，确保能够方便地接入 3/8 英寸气管及药液管路。

五、可选功能与配件

• 光纤漏液监测：可加装非接触式光纤传感器，在隔膜发生故障的第一时间切断气源，防止交叉污染。

• 流量计集成：适配 PFA 材质的超声波流量计，实现闭环精准输送。

• 脉动阻尼器：配套 Furon 同系列阻尼器，可消除 90% 以上的泵送脉冲，保护精密喷嘴及流量传感器。

六、应用场景

PFD2 316F 广泛应用于 12 英寸晶圆制造中的湿法刻蚀设备（Etch）、单片清洗机（Single Wafer Cleaning）的药液循环系统，以及高纯度化学品自动供应系统（CDS）的精密加药模块。

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